Mikro-Nano-Strukturen

  •  Herstellung im Fotolack auf einen Silizium Wafer oder einen Glasplatte   
  • 10 nm bis zu 1 mm Struktur großen
  • UV-, E-Beam-, Laser- und Interferenz Lithographie
  • Seitenverhältnisse bis zum 5
  • Struktur Höhen bis zum 200 µm

 



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Ätzen - Prozessanimation Galvanoformung - Prozessanimation