Richtspezifikationen

Größe

  • Glasträger:  bis 500 x 600 mm
  • Waferträger: bis zu einem Durchmesser von 200 mm

Profile

   
Trompete Zylinder Zweistufiges Profil

 

  Standard Nach Rücksprache    
Trompetenprofil
  • Dichte (+/- 5%)
  • Breite
  • Höhe-Breiten-Verhältnis

5 - 100 µm  
≥ 1 µm
bis 10
200 µm
0,5 µm

 

Zylinderprofil

  • Dichte (+/- 5%)
  • Breite trockener Widerst.
    Breite nasser Widerst
  • Höhen-Breiten-Verhältnis

 

 

 

5 - 100 µm
≥ 10 µm
≥ 1,5 µm
bis 3

 

 

200 µm


bis 5

 

Zweistufenprofil

  • Dichte (+/- 5%) 1. Schicht
    Dichte (+/- 5%) 2. Schicht
  • Breite 1. Schicht: trockener Widerstand 
    Breite 1. Schicht: nasser Widerstand
  • Höhen-Breiten-Verhältnis pro Schicht

 

 

1 - 100 µm
5 - 100 µm
≥ 10 µm
≥ 1 µm
bis 3

 

 

200 µm



bis 5