Richtspezifikationen - Etchform – Ätzen & Galvanoformung

Größe

Profile


Trompete	Zylinder	Zweistufiges Profil

	Standard	Nach Rücksprache
Trompetenprofil Dicke (+/- 5%) Breite Höhe-Breiten-Verhältnis	5 - 100 µm ≥ 1 µm bis 10	200 µm 0,5 µm
Zylinderprofil Dicke (+/- 5%) Breite trockener Resist Breite nasser Resist Höhen-Breiten-Verhältnis	5 - 100 µm ≥ 10 µm ≥ 1,5 µm bis 3	200 µm bis 5
Zweistufenprofil Dicke (+/- 5%) 1. Schicht Dicke (+/- 5%) 2. Schicht Breite 1. Schicht: trockener Resist Breite 1. Schicht: nasser Resist Höhen-Breiten-Verhältnis pro Schicht	1 - 100 µm 5 - 100 µm ≥ 10 µm ≥ 1 µm bis 3	200 µm bis 5

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