Indicatieve specificaties

• Dikte  (+/- 5%)
• Breedte
• Aspect ratio

5 - 100 µm
≥ 1 µm
tot 10

200 µm
0,5 µm

Cilinder profiel

• Dikte (+/- 5%)
• Breedte droge resist

  Breedte natte resist
• Aspect ratio

5 - 100 µm
≥ 10 µm
≥ 1,5 µm
tot 3

200 µm


tot 5

Tweetraps profiel

• Dikte (+/- 5%) 1e laag
  Dikte (+/- 5%) 2e laag
• Breedte 1e laag:
 droge resist    
  Breedte 1e laag: natte resist
• Aspect ratio per laag

1 - 100 µm
5 - 100 µm
≥ 10 µm
≥ 1 µm
tot 3

200 µm



tot 5